睿勵科學(xué)儀器（上海）完成近5億元戰(zhàn)略融資

據(jù)張通社報道，睿勵科學(xué)儀器（上海）有限公司（以下簡稱“睿勵科學(xué)儀器”）宣布完成近5億元戰(zhàn)略融資，本輪融資由金石投資和招商致遠聯(lián)合領(lǐng)投，河南資產(chǎn)、金信資本、鼎青投資等跟投。所融資金主要用于進一步提升先進半導(dǎo)體制程用的光學(xué)量檢測設(shè)備的國產(chǎn)替代能力，豐富產(chǎn)品種類，加大市場開拓力度能力。

睿勵科學(xué)儀器成立于2005年，總部位于上海張江。公司致力于開發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識產(chǎn)權(quán)及核心技術(shù)的集成電路芯片制造工藝用的光學(xué)量檢測設(shè)備。

2005年，曾任全球大量檢測設(shè)備企業(yè)研發(fā)科學(xué)家、研發(fā)經(jīng)理的呂彤欣博士，回國創(chuàng)辦了國內(nèi)一家專注于集成電路生產(chǎn)前道工藝量檢測設(shè)備開發(fā)的企業(yè)——睿勵科學(xué)儀器。公司核心團隊來自行業(yè)國際巨頭，專業(yè)技術(shù)團隊成員大都來自國際前兩名的量檢測設(shè)備企業(yè)以及國內(nèi)著名光學(xué)技術(shù)類公司，擁有多項全自主研發(fā)的專利技術(shù)。

睿勵科學(xué)儀器總經(jīng)理楊峰表示：“非常感謝投資方的認可與支持。我們將繼續(xù)深耕集成電路芯片生產(chǎn)工藝檢測設(shè)備市場，進一步豐富光學(xué)量測和光學(xué)缺陷檢測產(chǎn)品系列，為實現(xiàn)集成電路前道工藝檢測設(shè)備國產(chǎn)化全面替代的目標而努力。”他指出，未來，睿勵科學(xué)儀器將持續(xù)聚焦在光學(xué)量檢測領(lǐng)域，完善膜厚量測、OCD量測、缺陷檢測，開發(fā)包括OVL的其他光學(xué)量檢測設(shè)備。

中微半導(dǎo)體相關(guān)負責(zé)人表示：“隨著集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，工藝檢測設(shè)備的市場需求日益增長，國產(chǎn)化替代進口設(shè)備是大勢所趨，睿勵科學(xué)儀器在這方面具有巨大的發(fā)展空間和市場機會。隨著新一輪融資的完成，我們期待睿勵科學(xué)儀器能夠進一步加速產(chǎn)品研發(fā)和市場拓展，鞏固其在光學(xué)量檢測領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。中微半導(dǎo)體將繼續(xù)提供全方位的支持，以促進睿勵科學(xué)儀器的創(chuàng)新發(fā)展和持續(xù)成長。我們相信，通過雙方的緊密合作，能為推動國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控和高質(zhì)量發(fā)展做出更大的貢獻。”

本輪融資領(lǐng)投機構(gòu)金石投資相關(guān)負責(zé)人表示：“量檢測設(shè)備作為晶圓制造工藝的‘尺’，是工藝過程質(zhì)量控制和保證產(chǎn)線良率‘看護人’，其國產(chǎn)化的自主突破對于國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈具有重大的戰(zhàn)略意義。睿勵科學(xué)儀器團隊深耕該領(lǐng)域近20年，擁有較強的技術(shù)優(yōu)勢、較高的業(yè)務(wù)專注度以及產(chǎn)品創(chuàng)新能力，是業(yè)內(nèi)具有綜合競爭實力的企業(yè)。我們期待與睿勵科學(xué)儀器一同成長，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主可控貢獻力量。”